| 华峰测控 | 晶圆测试设备(CP测试) / 成品测试设备(FT测试) | — | — | — | — |
| 盛美上海 | 半导体清洗设备 / 薄膜沉积设备 / 热处理设备 / 前道涂胶显影 Track 设备 / 无应力抛光设备 / 刻蚀设备 / 半导体电镀及先进封装湿法设备 | — | — | — | — |
| 中微公司 | 刻蚀设备 / 薄膜沉积设备与MOCVD设备 / 量检测设备 / CMP及湿法设备 / 备品备件 | 3721.2亿元 | — | — | — |
| 长川科技 | 探针台 / 测试机、分选机及AOI光学检测设备 / AOI量测系统 | — | — | — | — |
| 富创精密 | 半导体设备精密零部件 | — | — | — | — |
| 正帆科技 | 半导体设备零组件 / 制程关键系统及高纯材料 | — | — | — | — |
| 华海清科 | CMP装备 / 离子注入装备 / 湿法装备 / 膜厚测量装备 / 关键耗材与维保服务 | — | — | — | — |
| 精测电子 | 半导体前道量检测设备 / 半导体后道CP测试设备 / 半导体后道FT/BI测试设备 / 半导体测试核心器件 | — | — | — | — |
| 京仪装备 | 半导体专用温控设备(Chiller) / 半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber) / 晶圆传片设备(Sorter) | — | — | — | — |
| 芯源微 | 光刻工序涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机) / 单片式湿法清洗机(物理清洗机、化学清洗机) / 湿法刻蚀机 / 单片式去胶机 / 临时键合机/解键合机 / 全自动SiC划裂片一体机 | — | — | — | — |
| 微导纳米 | ALD与CVD等真空镀膜设备 / 低压扩散炉及退火系统 / 备品备件与改造服务 | — | — | — | — |
| 北方华创 | 刻蚀设备 / 薄膜沉积设备 / 热处理设备 / 湿法清洗设备 / 离子注入设备 / 涂胶显影设备 / 键合设备 | 5493.5亿元 | — | — | — |
| 拓荆科技 | PECVD/ALD/SACVD/HDPCVD/Flowable CVD设备 / Crux 300套准精度量测/Ascella 300强度检测产品 / 晶圆/芯片混合键合、熔融键合及表面预处理设备 | 2299.3亿元 | — | — | — |
| 至纯科技 | 湿法清洗设备 / 炉管设备 / 涂胶显影设备 / 支持设备及核心零部件 / 高纯工艺系统集成与大宗气站 | — | — | — | — |
| 先导基电 | 离子注入机 / 刻蚀机 / 薄膜沉积设备 / 快速热处理设备 / 清洗机 / 精密零部件 | — | — | — | — |