半导体制程关键系统
工艺概况与设备边界
半导体制程关键系统属于半导体制造设备或厂务支持系统的独立子类。当前可核公司包括正帆科技、至纯科技。本页按设备完成的工艺/厂务功能划界；主工艺设备、附属设备、系统工程、零部件与驻场服务分别记录，不能重复计算收入。
收入模式可能包括设备销售、系统交付、备件和服务。研发、送样、验证、出货、装机、验收和收入确认是不同阶段，只有公司明确披露的阶段才能写入公司业务页。
需求驱动与市场空间
| 数据系列 | 当前值 | 口径/地区 | 来源与期间 | 可比性说明 |
|---|---|---|---|---|
| 市场规模/装机量 | 未取得两个可比期间的一手读数 | 设备边界以本页定义为准 | 公司2024/2025年报 | 不用公司整体收入、订单或相邻设备估算 |
需求沿“晶圆厂资本开支 → 设备招标/验证 → 订单 → 出货安装 → 客户验收 → 收入确认”传导。后续只有取得同一机构、地区、设备边界和至少两个期间的读数，才启用市场图表。
复核时还应分别记录招标、订单、出货、装机与验收，避免将晶圆厂资本开支增速直接等同于设备公司收入增速。
技术路线、关键指标与制程演进
| 设备子类 | 工艺作用 | 关键性能指标 | 制程/应用覆盖 | 主要壁垒 |
|---|---|---|---|---|
| 正帆科技披露产品 | 公司主营为厂务端的高纯介质供应系统（特气柜等）、高纯特种气体、大宗气体及前驱体材料的生产配送，属于半导体厂务设施及耗材（Facility & Materials），不属于设定的前道及后道核心机台映射范畴 | 以年报产品参数为准 | 以年报披露的研发/验证/量产阶段为准 | [正帆科技-A股-2025年年报.pdf+2025+第三节] |
| 至纯科技披露产品 | 为晶圆厂建设期提供厂务工程级别的管道安装与大宗气体投资运营。不能映射，因其属于厂务基建与气站服务，不属于单一制程设备或部件 | 以年报产品参数为准 | 以年报披露的研发/验证/量产阶段为准 | 至纯科技-A股-2025年年报.pdf, 第三节, 18/331-19/331 |
先进制程、国产化率和客户导入必须标明公司披露、行业估算或传闻；本页只把公司披露写入事实层。不同设备的性能指标和验收条件不可机械横比。
产业链、核心部件与交付
| 环节/部件 | 功能 | 主要玩家 | 国产化状态 | 供应风险 |
|---|---|---|---|---|
| 核心子系统 | 真空、流体、温控、运动、控制或尾气处理 | 按具体设备BOM核对 | 只有明确分母才记录 | 出口限制、认证周期、单一供应 |
| 整机/系统集成 | 设备设计、装配、软件与工艺适配 | 正帆科技、至纯科技 | 以客户验证披露为准 | 研发迭代和交付能力 |
| 安装与服务 | 进厂、调试、验收、备件和驻场服务 | 设备厂与晶圆厂共同完成 | 服务网络按公司披露 | 验收延期、人员与回款周期 |
公司整体厂房、人员和采购数据不能直接分摊到本设备子类；核心部件国产化必须同时有设备范围和分母。
竞争格局与国产替代
| 公司具体业务 | 公司 | 最近年度收入 | 最近年度增速 |
|---|---|---|---|
| 半导体制程关键系统｜制程关键系统及高纯材料【正帆科技】 | 正帆科技 | — | — |
| 半导体制程关键系统｜高纯工艺系统集成与大宗气站【至纯科技】 | 至纯科技 | — | — |
| 公司业务 | 产品与工艺 | 客户验证/装机 | 国产替代位置 | 主要约束 |
|---|---|---|---|---|
| 制程关键系统及高纯材料【正帆科技】 | 公司主营为厂务端的高纯介质供应系统（特气柜等）、高纯特种气体、大宗气体及前驱体材料的生产配送，属于半导体厂务设施及耗材（Facility & Materials），不属于设定的前道及后道核心机台映射范畴 | 以公司披露为准 | 未独立披露则留空 | 客户与收入不从文字反推 |
| 高纯工艺系统集成与大宗气站【至纯科技】 | 为晶圆厂建设期提供厂务工程级别的管道安装与大宗气体投资运营。不能映射，因其属于厂务基建与气站服务，不属于单一制程设备或部件 | 以公司披露为准 | 未独立披露则留空 | 客户与收入不从文字反推 |
国产替代的最小判断单元是设备子类、工艺步骤、客户验证阶段和重复订单。公司总收入、单台样机或“可用于先进制程”不能替代量产线证据。
客户验证与商业化节奏
| 验证阶段 | 客户动作 | 收入确认信号 | 常见周期 | 失败风险 |
|---|---|---|---|---|
| 送样/进厂 | 接受样机并安排测试 | 通常尚不形成规模收入 | 依设备和工艺而异 | 性能指标未达标 |
| 产线验证 | 稳定性、良率与工艺适配 | 可能形成首台套收入 | 以公司披露为准 | 验证延期或需求变化 |
| 重复订单/验收 | 批量采购、安装并达到合同条件 | 订单转收入的关键节点 | 以合同和会计政策为准 | 交付、验收或客户扩产推迟 |
验证、订单、出货、装机和验收不互相替代；客户匿名时不根据工艺节点或项目地点反推实名。
商业模式与经济性
| 驱动 | 观察指标 | 上行信号 | 下行信号 |
|---|---|---|---|
| 新机/系统销售 | 新签、在手、出货和验收 | 重复订单与验收加快 | 客户资本开支推迟 |
| 产品结构 | 高价值设备/系统收入和毛利率 | 新平台放量 | 低毛利项目占比上升 |
| 服务与备件 | 累计装机、服务收入 | 装机基数形成经常性收入 | 服务成本或回款周期上升 |
未单独披露本业务收入、毛利率或装机时保持空白，不按公司整体分部、合同负债或库存比例拆分。
风险、催化剂与跟踪指标
| 风险/催化剂 | 触发信号 | 传导路径 | 跟踪来源 |
|---|---|---|---|
| 晶圆厂扩产 | 资本开支、招标与项目进度 | 订单、交付和验收 | 客户公告、公司年报 |
| 客户验证突破 | 重复订单、量产线导入 | 设备收入与服务基数 | 公司公告与年报 |
| 供应与出口限制 | 核心部件交期和许可 | 成本、研发和交付 | 监管文件、风险提示 |
| 口径变化 | 并购、分部改名和收入分类变化 | 序列中断 | 当年年报原表 |
跟踪时先判断阶段，再判断金额和口径；定性国产化叙事不换算为份额。
行业年表
| 年份 | 行业事件 | 技术与竞争影响 |
|---|---|---|
| 2024年 | 建立可追溯的公司年报基准 | 用于识别设备边界和比较口径 |
| 2025年 | 汇总公司披露的产品、验证与交付状态 | 后续只记录可定位变化 |