清洗设备｜湿法装备【华海清科】

业务定位与边界

本页记录华海清科在清洗设备中的具体设备、验证和交付事实。业务边界为：晶圆清洗装备及化学品供液系统。公司未单独披露该业务收入时，不从公司整体或宽口径分部拆分。

设备/平台	工艺作用	制程/应用覆盖	研发与量产状态	主要约束
年报产品平台	—	—	—	等待下一轮年报补充

设备平台只沿用公司披露；“覆盖某制程”“已验证”“批量订单”“出货”“装机”“验收”分别记录，不能互相替代。

客户/项目类型	验证或装机阶段	订单与收入信号	披露期	口径限制
公司披露客户/项目	中芯国际；长江存储；华虹集团；英特尔(大连)；长鑫存储；厦门联芯；广州粤芯；上海积塔	仅保留公司明确披露	2025年及以前	客户匿名，不反推实名
湿法装备	见产品状态	新签/在手/合同负债分开	持续更新	装机、验收不等于收入

验证和订单是不同阶段；若年报只披露公司整体新签订单或合同负债，本页不把它们全部归属于本业务。

环节/基地	产能或交付能力	核心部件	服务网络	供应风险
公司制造与交付体系	天津生产基地(津南区聚兴道11号及二期配套工程)；华海清科(北京)基地(北京经济技术开发区)；华海清科(广州)厂区；华海清科(上海)厂区(建设中)；江苏昆山晶圆再生扩产项目(建设中)	以年报披露为准	安装、验收与售后	关键部件、人员和交付周期
本业务独立口径	未披露则留空	不按公司整体反推	等待后续披露	国产化率须有公司来源

公司整体厂房与人员不能自动等同本业务独立产能；核心部件国产化和服务半径也须单独有证据。

公司未按该设备子类披露收入、毛利率、装机或订单绝对值时，本模块留空。公司页的年报分产品收入结构仍保持原口径，不在连接页重新分摊。

可比业务	产品与工艺	客户验证/装机	国产替代位置	结论与约束
湿法装备【华海清科】	晶圆清洗装备及化学品供液系统	见验证表	只用公司披露	不把研发平台写成批量替代
同 segment 其他公司业务	通用工艺页反向聚合	按相同阶段比较	按设备子类比较	国际/国内对标须同口径

国产替代的最小判断单元是设备子类、工艺步骤和客户验证阶段；行业格局放通用工艺页，本页只维护华海清科的具体差异。

变量	当前状态	上行信号	下行信号
产品与验证	catalysts：AI/HBM及CoWoS等先进封装技术带动CMP、减薄装备需求爆发；半导体设备国产替代加速；新产品(离子注入、湿法清洗)进入规模化应用阶段形成平台化优势；risks：技术创新风险(14nm以下先进制程技术水平仍与国际巨头存在一定差距)；客户相对集中的风险；美国商务部BIS实体清单等国际宏观环境与贸易摩擦风险；政府补助与税收优惠变动风险	验证转批量、装机扩大	验证延期、验收推迟
订单与交付	以公司披露为准	新签与交付同步改善	合同负债/库存上升但验收不足

催化剂与风险必须能在年报、公告或后续业绩材料中复核；先进制程与客户名称的传闻不进入事实层。

年份	产品与制程	客户认证与订单	收入与经济性
2024年及以前	见招股书与历年年报产品记录	见公司披露	未独立披露则留空
2025年	按2025年报更新湿法装备状态	区分验证/订单/装机/验收	不从公司整体反推